औद्योगिक एकल-स्टेशन स्पिन कोटर के साथ ± 1% एकरूपता

औद्योगिक एकल-स्टेशन स्पिन कोटर के साथ ± 1% एकरूपता

उत्पाद का वर्णन

इस एकल-स्टेशन स्पिन कोटर को photoresist, पॉलिमर, sol-gel सामग्री, नैनोकणों,और अन्य कार्यात्मक तरल पदार्थ छोटे टुकड़ों से लेकर 8 इंच के वेफर्स तक के सब्सट्रेट परयह प्रणाली एक उच्च स्थिरता ब्रशलेस डीसी मोटर का उपयोग करती है जिसमें प्रोग्राम करने योग्य गति और त्वरण प्रोफाइल हैं, जो दोहराए जाने योग्य पतली फिल्म कोटिंग परिणाम सुनिश्चित करते हैं। अर्धचालक अनुसंधान एवं विकास, एमईएमएस निर्माण के लिए आदर्श,पेरोवस्किट सौर सेल, और ऑप्टिकल कोटिंग अनुप्रयोग।प्रणाली पूरी तरह से अनुकूलन योग्य हैचक के आकार, कटोरे की सामग्री, मोटर विनिर्देशों और वैकल्पिक हीटिंग या यूवी उपचार मॉड्यूल में।

उत्पादन लाइन की संरचना

1. स्पिन कोटिंग मुख्य इकाई (एकल कटोरे का डिजाइन)

2. सब्सट्रेट एडाप्टर किट के साथ वैक्यूम चक

3. प्रोग्रामेबल डिजिटल कंट्रोलर (टचस्क्रीन एचएमआई)

4. तेल मुक्त वैक्यूम पंप (≥60 L/min)

5. स्वचालित या मैनुअल वितरण प्रणाली (सर्पिंज/नोजल)

6. निकास और निकासी बंदरगाह की विधानसभा

7. मोटर सील सुरक्षा के लिए नाइट्रोजन शुद्धिकरण इनलेट

8. वैकल्पिक: एकीकृत हॉटप्लेट / यूवी क्यूरिंग मॉड्यूल

तकनीकी मापदंड

आवेदन

• अर्धचालक और एमईएमएसलिथोग्राफी के लिए फोटोरेसिस्टेंट कोटिंग

• पेरोवस्काइट और कार्बनिक सौर सेलपतली फिल्म जमाव

• ऑप्टिकल कोटिंग्सप्रतिबिंब विरोधी और फिल्टर परतें

• बायोमेडिकल उपकरणबायो-पॉलिमर

• ग्राफीन और 2 डी सामग्रीएक समान फैलाव कोटिंग

• ओएलईडी और क्वांटम डॉट्सउत्सर्जक परत जमाव

• ग्लास और सिरेमिक कोटिंगसोल-जेल और सुरक्षात्मक परतें

अनुकूलन

हम पेशकश करते हैंपूर्ण अनुकूलनजिसमें निम्नलिखित शामिल हैंः

• वैक्यूम चक आकार और आकार (गोल / वर्ग / टुकड़ा, 3 मिमी से 450 मिमी)

• कटोरी सामग्रीः रासायनिक प्रतिरोध के लिए पीटीएफई, टेफ्लॉन®, स्टेनलेस स्टील या एल्यूमीनियम

• मोटर उन्नयनः उच्च परिशुद्धता और विस्तारित गति सीमा के साथ सर्वो मोटर

• एकीकृत मॉड्यूलः हॉटप्लेट (300°C तक), यूवी क्यूरिंग (365nm/395nm LED)

• स्वचालित वितरण प्रणाली: प्रोग्राम करने योग्य सिरिंज पंप या स्प्रे नोजल

• निकास प्रणालीः HEPA फिल्टर के साथ सक्रिय रासायनिक धुएं निकासी

• सॉफ्टवेयर: कस्टम रेसिपी प्रबंधन, डेटा लॉगिंग और रिमोट कंट्रोल

• क्रॉस-कंटॉमिनेशन के बिना सामग्री के त्वरित परिवर्तन के लिए कई कटोरे

विशेषता

• पूरे सब्सट्रेट पर ± 1% फिल्म मोटाई एकरूपता

• तेज कोटिंग प्रोफाइल के लिए 30,000 आरपीएम/एस तक त्वरित त्वरण

• वास्तविक समय गति और समय प्रदर्शन के साथ टचस्क्रीन पीएलसी

• वैक्यूम इंटरलॉक ️ यदि वैक्यूम सीमा से नीचे गिर जाता है तो स्वचालित रूप से बंद हो जाता है

• टपकने और छपने के प्रतिरोधी कटोरे का डिजाइन

• नाइट्रोजन शुद्धिकरण मोटर के जीवन को बढ़ाता है और संवेदनशील कोटिंग्स की रक्षा करता है

• कॉम्पैक्ट बेंचटॉप पदचिह्न प्रयोगशाला स्थान को बचाता है

• संवेदनशील इलेक्ट्रॉनिक सामग्री के लिए ईएसडी-सुरक्षित निर्माण

सहायता और सेवाएं

• विस्तृत एकरूपता रिपोर्ट के साथ निःशुल्क नमूना कोटिंग परीक्षण

• साइट पर स्थापना और ऑपरेटर प्रशिक्षण (वैकल्पिक)

• मोटर और नियंत्रक पर 24 महीने की वारंटी

• वीडियो कॉल/ईमेल के माध्यम से आजीवन दूरस्थ तकनीकी सहायता

• स्पेयर पार्ट्स किट शामिल (वैक्यूम सील, ओ-रिंग, फ्यूज)

• गैर मानक सब्सट्रेट के लिए कस्टम चक निर्माण

पैकिंग और शिपिंग

• पैकिंगःएंटी-स्टैटिक फोम + वैक्यूम सील बैग + प्रबलित निर्यात प्लाईवुड केस

• नौवहन:एफओबी शंघाई / शेन्ज़ेन / गुआंगज़ौ

• समय सीमाः10 ¢ 25 कार्य दिवस (अनुकूलन स्तर पर निर्भर करता है)

• शिपिंग के तरीके:हवाई माल ढुलाई (छोटी इकाइयों के लिए), समुद्री माल ढुलाई (औद्योगिक प्रणालियों के लिए), एक्सप्रेस कूरियर (डीएचएल/फेडएक्स)

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न

प्रश्न 1: क्या आप एक गैर मानक वर्ग सब्सट्रेट (100 मिमी x 100 मिमी) के लिए चक को अनुकूलित कर सकते हैं?
उत्तर: हाँ।हम पूरी तरह से अनुकूलितकिसी भी चक के आकार और आकार, जिसमें वर्ग, आयताकार और 450 मिमी तक के अनियमित टुकड़े शामिल हैं।

Q2: न्यूनतम और अधिकतम कोटिंग मोटाई क्या है?
एकः आम तौर पर सामग्री चिपचिपाहट और स्पिन गति के आधार पर 0.1μm से 200μm तक। हम आपकी विशिष्ट कोटिंग सामग्री के लिए मोटाई को अनुकूलित करने के लिए स्पिन प्रोफाइल को अनुकूलित कर सकते हैं।

प्रश्न 3: क्या यह स्पिन कोटर मोटी फोटोरेसिस्ट जैसी उच्च चिपचिपाहट वाली सामग्री के साथ काम करता है?
उत्तर: हाँ। सर्वो मोटर विकल्प मोटी सामग्री के लिए अधिक टोक़ प्रदान करता है। हम डिस्पेंसर नोजल और प्री-स्पिन देरी को भी अनुकूलित कर सकते हैं।