उच्च थ्रूपुट पतली फिल्म जमाव के लिए अनुकूलन योग्य सब्सट्रेट आकार और प्रोग्राम करने योग्य स्पिन प्रोफाइल के साथ 24-पोजीशन रोटरी स्पिन कोटर
24 पोजीशन रोटरी स्पिन कोटर
,पतली फिल्म जमाव के लिए प्रोग्राम करने योग्य स्पिन कोटर
,अनुकूलन योग्य सब्सट्रेट आकार स्पिन कोटर
यह 24 स्टेशन स्पिन कोटर उच्च थ्रूपुट पतली फिल्म जमाई के लिए डिज़ाइन किया गया है photoresist, पॉलिमर, नैनोकण, और sol-gel सामग्री। प्रत्येक स्टेशन स्वतंत्र रूप से या सिंक्रोनस रूप से काम करता है।प्रणाली अनुकूलन योग्य स्पिन प्रोफाइल (त्वरण) का समर्थन करती है, अवधि, गति) प्रत्येक स्टेशन के लिए, इसे अनुसंधान एवं विकास और उत्पादन दोनों वातावरणों के लिए आदर्श बनाता है।
| पैरामीटर | मूल्य / सीमा | अनुकूलन विकल्प |
|---|---|---|
| स्टेशनों की संख्या | 24 | ✔ अनुकूलन योग्य (16/24/32 स्टेशन) |
| सब्सट्रेट आकार | 12 इंच तक के वेफर या 300×300 मिमी के पैनल | ✔ अनुकूलन योग्य चक आकार |
| घूर्णन गति सीमा | 100 - 12,000 आरपीएम | ✔ प्रति स्टेशन प्रोग्राम करने योग्य |
| गति सटीकता | ± 1 आरपीएम | - |
| त्वरण सीमा | 100 - 10,000 आरपीएम/एस | ✔ नुस्खा के अनुसार समायोजित किया जा सकता है |
| घूर्णन समय सीमा | 1 - 999 सेकंड / कदम | ✔ अनुकूलन योग्य कदम |
| वितरण की मात्रा | 0.1 - 20 मिलीलीटर प्रति नोजल | ✔ अनुकूलन योग्य नोजल प्रकार |
| मोटर का प्रकार | ब्रशलेस डीसी सर्वो | - |
| कोटिंग एकरूपता | ± 3% (24 स्टेशनों में) | ✔ अपग्रेडेबल ± 1% तक |
| निकास प्रवाह | 150 - 500 मी3/घंटा | ✔ अनुकूलन योग्य निकास इंटरफ़ेस |
| विद्युत आपूर्ति | 220 वी / 50-60 हर्ट्ज / 3.5 किलोवाट | ✔ अनुकूलन योग्य वोल्टेज |
| आयाम (L×W×H) | 1800×1200×900 मिमी | ✔ अनुकूलन योग्य पदचिह्न |
| वजन | 520 किलोग्राम | - |
- अर्धचालक वेफर कोटिंग (फोटोरेसिस्ट)
- ओएलईडी और पेरोवस्किट सौर कोशिकाओं का निर्माण
- बायो-चिप और पॉलिमर फिल्म तैयार करना
- ऑप्टिक्स के लिए प्रतिबिंब विरोधी कोटिंग
- नैनोमटेरियल जमाव (ग्राफीन, क्वांटम डॉट्स)
- अनुसंधान एवं विकास बहु-स्थिति स्क्रीनिंग (24 विभिन्न मापदंड एक साथ)
हम पूर्ण अनुकूलन प्रदान करते हैंः
- स्टेशनों की संख्याः8/12/16/24/32 स्टेशन
- सब्सट्रेट का आकार और आकारःगोल वेफर्स, स्क्वायर पैनल्स, अनियमित सब्सट्रेट
- डिस्पेंसर प्रणालीःएकल सुई, बहु-नोजल, स्प्रे या स्याही जेट
- पर्यावरण नियंत्रण:आर्द्रता, तापमान, कण निस्पंदन
- स्वचालन स्तरःमैनुअल लोड, अर्ध-स्वचालित, पूर्ण इनलाइन एकीकरण
- सॉफ्टवेयर:अनुकूलित नुस्खा संरचना, बारकोड स्कैनिंग, एमईएस में डेटा निर्यात
- स्थापना और साइट पर प्रशिक्षण
- 18 महीने की मानक वारंटी (विस्तार योग्य)
- दूरस्थ डिबगिंग और आईओटी समर्थन विकल्प
- वार्षिक कैलिब्रेशन और निवारक रखरखाव योजना
- ≥10 वर्षों के लिए स्पेयर पार्ट्स की आपूर्ति
- कस्टम सॉफ्टवेयर विकास समर्थन
- पैकिंगःएंटी-स्टेटिक वैक्यूम सील + प्लाईवुड एक्सपोर्ट केस (शॉक-प्रूफ, नमी-प्रूफ)
- शिपमेंट का तरीकाःएफओबी/सीआईएफ समुद्र मार्ग, हवा मार्ग (बेंचटॉप इकाइयों के लिए एक्सप्रेस वैकल्पिक)
- समय सीमाःआदेश की पुष्टि के बाद 30-45 कार्यदिवस (अनुकूलन 15 दिन जोड़ता है)
- दस्तावेजों में शामिल हैंःउपयोगकर्ता पुस्तिका, कैलिब्रेशन प्रमाण पत्र, सीई घोषणा