उच्च-सटीकता एकल स्टेशन स्पिन कोटर अनुसंधान एवं विकास प्रयोगशालाओं के लिए
यह अनुकूलन योग्य एकल-स्टेशन स्पिन कोटर सब्सट्रेट्स पर फोटोरेसिस्ट, पॉलीमाइड, सोल-जेल, नैनोकणों और अन्य कार्यात्मक कोटिंग्स की समान पतली-फिल्म जमाव के लिए डिज़ाइन किया गया है। उच्च-सटीकता अनुसंधान एवं विकास, एकीकृत हॉटप्लेट, और बड़े-प्रारूप विन्यासों में उपलब्ध है।
सिस्टम पूरी तरह से अनुकूलन योग्य है स्पिन गति सीमा, सब्सट्रेट आकार, चक प्रकार, कटोरे की सामग्री और स्वचालन स्तर में। स्पिन कोटिंग अपकेंद्री बल का उपयोग करके एक सब्सट्रेट पर एक तरल कोटिंग को समान रूप से फैलाती है, जिससे फिल्म की मोटाई नैनोमीटर से लेकर कई माइक्रोन तक असाधारण एकरूपता के साथ प्राप्त होती है।
मुख्य लाभों में असाधारण गति स्थिरता (< ±1% उतार-चढ़ाव), कम कंपन संचालन, और एक रासायनिक-प्रतिरोधी प्रक्रिया कटोरा (पीपी, पीटीएफई, या स्टेनलेस स्टील 316L में उपलब्ध) शामिल हैं। कॉम्पैक्ट बेंचटॉप डिज़ाइन अनुसंधान प्रयोगशालाओं, पायलट लाइनों और छोटे-बैच उत्पादन वातावरण के लिए आदर्श है। मॉड्यूलर वास्तुकला भविष्य के उन्नयन का समर्थन करती है, जिसमें कई डिस्पेंस नोजल, नाइट्रोजन पर्ज और इन-सीटू हीटिंग मॉड्यूल शामिल हैं।
तकनीकी विशिष्टताएँ
| पैरामीटर |
उच्च-सटीकता अनुसंधान एवं विकास मॉडल |
एकीकृत हॉटप्लेट मॉडल |
बड़े-प्रारूप / उत्पादन मॉडल |
| सब्सट्रेट आकार (अनुकूलन योग्य) |
200 मिमी व्यास तक / वर्ग |
200 मिमी व्यास तक |
450 मिमी / 18" तक |
| स्पिन गति सीमा (अनुकूलन योग्य) |
100 - 12,000 आरपीएम |
100 - 12,000 आरपीएम |
15,000 आरपीएम तक |
| गति सटीकता |
±1 आरपीएम या ±0.5% |
±0.5% |
±0.1% (सर्वो मोटर) |
| त्वरण सीमा (अनुकूलन योग्य) |
100 - 10,000 आरपीएम/सेकंड |
प्रोग्रामेबल |
1 - 50,000 आरपीएम/सेकंड |
| प्रोग्राम चरण (अनुकूलन योग्य) |
10 प्रोग्राम, प्रत्येक 20 चरण |
100 चरणों/प्रोग्राम तक |
असीमित अनुकूलन योग्य |
| चक प्रकार (अनुकूलन योग्य) |
वैक्यूम (एल्यूमीनियम/पीटीएफई/सिरेमिक) |
वैक्यूम (एल्यूमीनियम) |
वैक्यूम / यांत्रिक क्लैंप |
| कटोरा सामग्री (अनुकूलन योग्य) |
पीपी / पीटीएफई / स्टेनलेस स्टील 316L |
पीपी / पीटीएफई |
स्टेनलेस स्टील |
| हॉट प्लेट तापमान (वैकल्पिक) |
लागू नहीं |
परिवेश - 300°C |
वैकल्पिक |
| नियंत्रण इंटरफ़ेस |
4.3" एलसीडी / 7" एचएमआई |
7" एचएमआई टचस्क्रीन |
पीएलसी + एचएमआई / पीसी-आधारित |
| डेटा निर्यात |
यूएसबी (वैकल्पिक) |
यूएसबी / ईथरनेट |
यूएसबी / ईथरनेट / मोdbus |
| बिजली की आपूर्ति (अनुकूलन योग्य) |
110/220V, 50/60Hz |
110/220V |
220/380V, 50/60Hz |
| विशिष्ट अनुप्रयोग |
सेमीकंडक्टर, ओएलईडी, पेरोव्स्काइट |
फोटोरेसिस्ट + बेक |
औद्योगिक पैनल, बड़े वेफर |
अनुप्रयोग
- सेमीकंडक्टर और एमईएमएस: फोटोरेसिस्ट कोटिंग, इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी, स्पिन-ऑन ग्लास (एसओजी)
- ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स: ओएलईडी, क्वांटम डॉट पतली फिल्में, एंटी-रिफ्लेक्टिव कोटिंग्स
- सामग्री विज्ञान: सोल-जेल जमाव, नैनोकण फिल्में, पॉलिमर कोटिंग्स
- जैव प्रौद्योगिकी: बायोसेन्सर निर्माण, माइक्रोफ्लुइडिक डिवाइस कोटिंग
- नवीकरणीय ऊर्जा: पेरोव्स्काइट सौर सेल, पतली-फिल्म फोटोवोल्टिक
- ऑप्टिकल उद्योग: लेंस हार्ड कोटिंग (यूवी क्योरिंग विकल्प के साथ)
मुख्य विशेषताएं
- उच्च परिशुद्धता स्पिन नियंत्रण: उच्च-टॉर्क ब्रशलेस मोटर ±0.5% गति सटीकता और प्रोग्रामेबल त्वरण के साथ दोहराने योग्य, समान कोटिंग सुनिश्चित करती है
- अनुसंधान एवं विकास-केंद्रित डिजाइन: व्यवस्थित प्रक्रिया विकास के लिए मल्टी-स्टेप रेसिपी प्रोग्रामिंग और डेटा लॉगिंग क्षमताएं
- बहुमुखी फिक्स्चरिंग: कस्टम ज्यामिति या नाजुक सब्सट्रेट्स को सुरक्षित रूप से पकड़ने के लिए अनुकूलन योग्य चक और फिक्स्चर
- रासायनिक-प्रतिरोधी निर्माण: आक्रामक सॉल्वैंट्स के लिए पीटीएफई, पीपी, या स्टेनलेस स्टील कटोरे
- उपयोगकर्ता के अनुकूल इंटरफ़ेस: अनुकूलित मापदंडों को जल्दी से याद करने के लिए रेसिपी स्टोरेज के साथ सहज टचस्क्रीन एचएमआई
- कॉम्पैक्ट फुटप्रिंट: बेंचटॉप डिजाइन मूल्यवान प्रयोगशाला या उत्पादन तल स्थान बचाता है
- सुरक्षा इंटरलॉक: संचालन के दौरान ढक्कन खुलने पर स्वचालित स्टॉप
- डेटा पता लगाने की क्षमता: रेसिपी स्टोरेज, रीयल-टाइम मॉनिटरिंग, यूएसबी/ईथरनेट निर्यात
अनुकूलन विकल्प
यह एकल-स्टेशन स्पिन कोटर आपकी विशिष्ट अनुप्रयोग आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अत्यधिक अनुकूलन योग्य है:
- स्पिन गति सीमा: 50 आरपीएम से 15,000 आरपीएम तक - प्रश्न 3: विशिष्ट कोटिंग मोटाई एकरूपता क्या है?
- चक डिजाइन और आकार: गोल (450 मिमी तक), चौकोर, आयताकार, या अनियमित सब्सट्रेट्स के लिए कस्टम-मशीनीकृत वैक्यूम चक - पूरी तरह से अनुकूलन योग्य
- कटोरा सामग्री: पॉलीप्रोपाइलीन (पीपी), पीटीएफई, स्टेनलेस स्टील 316L - प्रश्न 3: विशिष्ट कोटिंग मोटाई एकरूपता क्या है?सॉल्वेंट प्रतिरोध के लिए
- फिक्स्चर प्रकार: वैक्यूम चक, यांत्रिक क्लैंप, या कस्टम 3डी-प्रिंटेड होल्डर - प्रश्न 3: विशिष्ट कोटिंग मोटाई एकरूपता क्या है?
- डिस्पेंस सिस्टम: मैनुअल सिरिंज / स्वचालित सिरिंज पंप / सोलनॉइड वाल्व / मल्टी-नोजल ऐरे - प्रश्न 3: विशिष्ट कोटिंग मोटाई एकरूपता क्या है?
- हीटिंग एकीकरण: वैकल्पिक इन-सीटू आईआर हीटर या 300°C तक हॉट प्लेट - प्रश्न 3: विशिष्ट कोटिंग मोटाई एकरूपता क्या है?
- पर्यावरण नियंत्रण: अक्रिय गैस पर्ज (एन₂), आर्द्रता नियंत्रण, ग्लोवबॉक्स एकीकरण - प्रश्न 3: विशिष्ट कोटिंग मोटाई एकरूपता क्या है?
- सॉफ्टवेयर: रेसिपी प्रबंधन, डेटा लॉगिंग, यूएसबी/ईथरनेट निर्यात - प्रश्न 3: विशिष्ट कोटिंग मोटाई एकरूपता क्या है?
- स्वचालन स्तर: पूरी तरह से मैनुअल से अर्ध-स्वचालित तक स्वचालित डिस्पेंस और चक्र नियंत्रण के साथ - प्रश्न 3: विशिष्ट कोटिंग मोटाई एकरूपता क्या है?
- सुरक्षा: इंटरलॉक्ड बाड़े, आपातकालीन स्टॉप, स्पिल रोकथाम - प्रश्न 3: विशिष्ट कोटिंग मोटाई एकरूपता क्या है?
समर्थन और सेवाएँ
- निःशुल्क प्रक्रिया परामर्श और सामग्री परीक्षण - हमें अपने सब्सट्रेट भेजें
- कस्टम फिक्स्चर डिजाइन और इंजीनियरिंग सेवाएं
- ऑन-साइट स्थापना और कमीशनिंग (प्रश्न 3: विशिष्ट कोटिंग मोटाई एकरूपता क्या है? समर्थन पैकेज)
- ऑपरेटर प्रशिक्षण कार्यक्रम शामिल है
- वीडियो कॉल के माध्यम से 24 घंटे के भीतर दूरस्थ समस्या निवारण
- मोटर और नियंत्रक पर 18 महीने की वारंटी, सहायक उपकरण पर 12 महीने
- क्षेत्रीय गोदामों (यूएस/ईयू/एशिया) से स्पेयर पार्ट्स की उपलब्धता
- फोन, ईमेल, या चैट के माध्यम से आजीवन तकनीकी सहायता
पैकिंग और शिपिंग
- पैकिंग: एंटी-स्टैटिक फोम + प्रबलित लकड़ी का केस (नमी-संवेदनशील घटकों के लिए डेसिकेंट के साथ)
- मानक मॉडल लीड टाइम: ऑर्डर पुष्टि के बाद 15-25 दिन
- कस्टम कॉन्फ़िगरेशन लीड टाइम: 30-45 दिन (कस्टम चक या कटोरे के लिए लंबा)
- शिपिंग: एफओबी शंघाई / सीआईएफ समुद्र, वायु, या रेल द्वारा
- अनुकूलन योग्य: निर्यात क्रेटिंग, कस्टम लेबलिंग, गंतव्य बंदरगाह प्रलेखन
अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न
प्रश्न 1: यह स्पिन कोटर अधिकतम सब्सट्रेट आकार को कैसे संभाल सकता है?
ए: मानक अनुसंधान एवं विकास मॉडल 150-200 मिमी (6-8") व्यास वेफर तक संभालते हैं। बड़े-प्रारूप अनुप्रयोगों के लिए, हम प्रश्न 3: विशिष्ट कोटिंग मोटाई एकरूपता क्या है? चक 450 मिमी (18") तक सब्सट्रेट्स प्रदान करते हैं। 150×150 मिमी तक के चौकोर सब्सट्रेट्स का भी समर्थन किया जाता है।
प्रश्न 2: क्या मैं गैर-गोल सब्सट्रेट्स के लिए इस स्पिन कोटर का उपयोग कर सकता हूँ?
ए: हाँ। हम चौकोर, आयताकार और अनियमित आकार के सब्सट्रेट्स के लिए
अनुकूलन योग्य
वैक्यूम चक और यांत्रिक फिक्स्चर प्रदान करते हैं। कस्टम चक को विशिष्ट उत्पाद ज्यामिति में फिट करने के लिए 3डी-प्रिंट भी किया जा सकता है। कृपया कस्टम फिक्स्चर डिजाइन के लिए अपने सब्सट्रेट आयाम प्रदान करें।
प्रश्न 3: विशिष्ट कोटिंग मोटाई एकरूपता क्या है?
ए: उचित प्रक्रिया अनुकूलन के साथ, सब्सट्रेट पर मोटाई एकरूपता
< ±1%
तक पहुंच सकती है। परिणाम सामग्री चिपचिपाहट, स्पिन मापदंडों और सब्सट्रेट ज्यामिति के अनुसार भिन्न होते हैं। हम आपके विशिष्ट अनुप्रयोग की पुष्टि के लिए मुफ्त प्रयोगशाला परीक्षण प्रदान करते हैं।
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